潔凈室氣密性要求如下：
當(dāng)對潔凈室的嚴密性有特殊要求時，可測其圍護結(jié)構(gòu)嚴密性。圍護結(jié)構(gòu)嚴密性按《潔凈室氣密性檢測方法》進行檢驗。檢驗結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當(dāng)設(shè)計無明確要求時，可在以下兩表的任何一種評定方法中任選一種方法，兩表中最大測試壓力設(shè)定為500Pa。
表1 按壓力半衰期區(qū)分氣密性程度
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氣密性程度 |
壓力半衰期T（測試壓力衰減到其一半的時間）（min） |
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1 |
≥30 |
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2 |
≥20 |
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3 |
≥10 |
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4 |
≥5 |
表2 按漏泄率區(qū)分氣密性程度
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氣密性程度 |
前5min內(nèi)每小時漏泄率α（h-1） |
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1 2 |
≤ 2.5×10-3 |
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≤ 10-2 |
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3 |
≤ 5×10-2 |
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4 |
≤ 10-1 |
表2中， α = Q/V (1)
式中：V——被檢潔凈室凈容積（一般情況下該容積可以用室體積代替）（m3）；
Q——檢驗壓力下前5min內(nèi)儀表讀出的每小時漏泄量(m3/h)。
當(dāng)用壓縮空氣補償時，設(shè)檢驗時溫度不變，流量計檢測的Q應(yīng)考慮壓力修正，成為Q1：
式中：Q1——修正后用于計算α的漏泄流量；
P——室內(nèi)大氣壓力；
P1——壓縮空氣實際壓力，為表壓與大氣壓之和。
