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電子工業(yè)潔凈廠房防靜電措施設(shè)計(jì)要求

發(fā)布時(shí)間:2022-06-02 19:18人氣:

電子工業(yè)潔凈廠房防靜電措施設(shè)計(jì)要求如下:

1. 潔凈廠房防靜電環(huán)境中,防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求:

      (1)防靜電地面面層的選擇,應(yīng)滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求;

      (2)防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5×104~1×109Ω;

      (3)防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)和接地連接,其地面對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1×105~1×108Ω。

2. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:

      (1) 一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5×104~1×106Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;

      (2) 二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門(mén)和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門(mén)的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1×106~1×109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;

      (3) 三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門(mén)等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門(mén)等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。

3. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門(mén)窗設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:

      (1) 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門(mén)窗或采用耗散材料貼面;

      (2) 金屬門(mén)窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層,并應(yīng)接地;

      (3) 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時(shí),玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

4. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:

      (1) 各類(lèi)裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能,不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料;

      (2) 各類(lèi)裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

5. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。

6. 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時(shí),應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時(shí),應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。

7. 潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺(tái)。


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