一、防靜電與接地設(shè)計(jì)一般要求
1. 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。
2. 防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序（設(shè)備）進(jìn)行分級(jí)。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對(duì)值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)分為三級(jí)，防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)分級(jí)適用場(chǎng)所應(yīng)符合表1的要求。
表1 防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)分級(jí)適用場(chǎng)所
防靜電級(jí)別 | 靜電電位絕對(duì)值V | 適用場(chǎng)所 |
一級(jí) | ≤100 | 1 半導(dǎo)體器件、集成電路、平板顯示器制造和測(cè)試的場(chǎng)所 2 電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中操作Ⅰ級(jí)靜電敏感器件制造和測(cè)試的場(chǎng)所 |
二級(jí) | ≤200 | 1 靜電敏感精密電子儀器的測(cè)試和維修場(chǎng)所 2 靜電感電子器件制造和測(cè)試的場(chǎng)所 |
三級(jí) | ≤1000 | 除一級(jí)、二級(jí)場(chǎng)所以外的電子器件和整機(jī)的組裝、調(diào)試場(chǎng)所 |
二、防靜電接地設(shè)計(jì)要求
1. 潔凈廠房?jī)?nèi)金屬物體包括潔凈室（區(qū)）的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?，?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接，導(dǎo)靜電地面、活動(dòng)地板、工作臺(tái)面、座椅等應(yīng)做靜電接地。
2. 靜電接地的連接線應(yīng)有足夠的機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性，其主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支線最小截面應(yīng)為2.5mm2。
3. 與人體接觸的靜電接地應(yīng)串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。
4. 對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。
