一、電子工業(yè)潔凈廠房化學品供應設計一般要求
1. 潔凈廠房內(nèi)化學品的儲存、輸送方式，應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學品的品質(zhì)、數(shù)量、物理化學特性等確定。
2. 潔凈廠房內(nèi)使用的各類化學品應按照各自的物理化學特性分類和儲存，并應符合現(xiàn)行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690的有關規(guī)定。
3. 在潔凈室（區(qū)）內(nèi)使用危險化學品的生產(chǎn)設備或空間，應采取相應的安全保護措施。
二、電子工業(yè)潔凈廠房化學品供應管材和閥門設計要求
1. 化學品供應系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應按所輸送化學品的物理化學性質(zhì)確定，并應選擇化學穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。
2. 輸送腐蝕性化學品的管道，可直接采用非金屬管材，但應設置保護套管。
3. 化學品輸送管路系統(tǒng)，對多臺生產(chǎn)設備供應化學品時，應設置分配閥箱。
4. 輸送有機溶劑的管道材質(zhì)，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類管道材質(zhì)，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統(tǒng)的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。
5. 用于化學品管路的閥門材質(zhì)應與管道材質(zhì)一致。
