電子工業(yè)潔凈廠房特種氣體系統(tǒng)設計要求如下：

1. 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應，在電子工廠內(nèi)應設置儲存、分配系統(tǒng)。

2. 潔凈廠房內(nèi)特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

3. 潔凈室（區(qū)）內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設置，應符合下列規(guī)定：

      （1）特種氣體鋼（含硅烷或硅烷混合物）應設置在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中；

      （2） 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源；

      （3） 一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設備使用時，應設置多路閥門箱；

      （4） 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合《GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》第10.1和10.2節(jié)的有關規(guī)定。

4. 特種氣體分配系統(tǒng)應設置吹掃盤，并應符合下列規(guī)定：

      （1） 應設置應急切斷裝置；

      （2） 應設置過流量控制裝置，

      （3） 應設置手動隔離閥；

      （4） 吹掃氣源宜采用常用氣體系統(tǒng)；

      （5） 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

5. 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設置應符合下列規(guī)定：

      （1） 儲存區(qū)應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；

      （2） 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應大于3.0m;

      （3） 儲存區(qū)頂棚的高度應大于3.5m。