1 范圍

      本文件規(guī)定了監(jiān)測計(jì)劃的基本要求。這個(gè)監(jiān)測計(jì)劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù)，監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。

      本文件適用于粒徑0.1 μm?5 μm粒子濃度的監(jiān)測。

      本文件不適用于振動(dòng)或工程系統(tǒng)一般維護(hù)等監(jiān)測。超細(xì)粒子（小于0.1 μm的粒子）濃度的監(jiān)測，將在另一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 25915.1-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級 （ISO 14644-1：2015,MOD）

      注：GB/T 25915.1—2021 被引用的內(nèi)容與ISO 14644-1：2015被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異。

3 術(shù)語和定義

      GB/T 25915.1-2021界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

      檢測 test

      為確定設(shè)施或其某個(gè)組成部分的性能，按規(guī)定方法實(shí)施的程序。

3.2

      監(jiān)測 monitoring

      為證明設(shè)施性能,按規(guī)定的方法和計(jì)劃進(jìn)行的測量。

      注1：監(jiān)測可以是連續(xù)的、間歇的或定期的，如是定期的，要規(guī)定頻度。

      注2：監(jiān)測信息可用于動(dòng)態(tài)趨勢的觀察，提供過程支撐。

3.3

      干預(yù)值 action level

      用戶設(shè)定的參數(shù)值，當(dāng)超過該值時(shí)，需要立即干預(yù),查明原因并采取糾正措施。

3.4

      預(yù)警值 alert level

      用戶設(shè)定的參數(shù)值，偏離正常條件時(shí)可給出早期預(yù)警。當(dāng)超過該值時(shí)，宜加強(qiáng)關(guān)注或采取糾正措施。

4 監(jiān)測計(jì)劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn)

4.1 說明

      為了確保潔凈室或潔凈區(qū)性能良好、粒子濃度達(dá)到控制要求并有良好的空氣潔凈度，應(yīng)制定、執(zhí)行并持續(xù)改進(jìn)監(jiān)測計(jì)劃。

      監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮所要求的空氣潔凈度水平、關(guān)鍵位置以及對潔凈室和潔凈區(qū)設(shè)施性能有影響的因素。在制定、執(zhí)行并持續(xù)改進(jìn)監(jiān)測計(jì)劃時(shí)，應(yīng)包括下列步驟：

      ——使用適當(dāng)?shù)娘L(fēng)險(xiǎn)評定方法來了解、評估、記錄不良污染事件的風(fēng)險(xiǎn)；

      ——制定書面監(jiān)測計(jì)劃；

      ——審核并批準(zhǔn)監(jiān)測計(jì)劃；

      ——進(jìn)行監(jiān)測以執(zhí)行計(jì)劃；

      ——對監(jiān)測活動(dòng)中獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，需要時(shí)進(jìn)行趨勢分析并報(bào)告潔凈室和潔凈區(qū)的性能；

      ——實(shí)施并記錄采取的措施或糾正措施；

      ——定期審核監(jiān)測計(jì)劃。

      按監(jiān)測計(jì)劃測出的空氣中粒子濃度，可能高于靜態(tài)測試的濃度。受在場人員數(shù)量、風(fēng)量、通風(fēng)效果、儀器或機(jī)器運(yùn)行、相鄰空間活動(dòng)等因素的影響,測得的數(shù)值可能起伏較大。

      對工藝本身就產(chǎn)生粒子、且這些粒子對工藝或產(chǎn)品不形成威脅的，可不監(jiān)測動(dòng)態(tài)的粒子濃度，而進(jìn)行定期靜態(tài)分級測試或模擬運(yùn)行情況的動(dòng)態(tài)分級測試。其他影響性能和潔凈度的參數(shù)仍可進(jìn)行監(jiān)測。

4.2 風(fēng)瞼評估

      風(fēng)險(xiǎn)評估是識(shí)別出危險(xiǎn)并對接觸危險(xiǎn)的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行分析和評估的系統(tǒng)性過程。

      風(fēng)險(xiǎn)評估應(yīng)實(shí)現(xiàn)以下目標(biāo)：

      ——確定可能影響潔凈室或潔凈區(qū)保持其空氣潔凈度能力的因素（該潔凈度是按粒子濃度劃分的），從而制定出監(jiān)測計(jì)劃；

      ——確定可證明性能的監(jiān)測要求。

      風(fēng)險(xiǎn)評估考慮事項(xiàng)見附錄A。

4.3 監(jiān)測計(jì)劃

4.3.1 監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮風(fēng)險(xiǎn)評估的結(jié)果。

      制定監(jiān)測計(jì)劃時(shí)，應(yīng)至少包括4.3.2?4.3.13中所述的要素。

4.3.2 列出所有要監(jiān)測的參數(shù)并證明其合理性，包括可能影響空氣中粒子濃度的參數(shù)。

4.3.3 說明測量方法并證明其合理性，對制定監(jiān)測計(jì)劃需要考慮的事項(xiàng)見附錄A。

4.3.4 監(jiān)測儀器的準(zhǔn)確度、維護(hù)、校準(zhǔn)。

4.3.5 標(biāo)識(shí)所選監(jiān)測位置并說明合理性。監(jiān)測位置應(yīng)用三維坐標(biāo)描述。

4.3.6 對監(jiān)測合格的標(biāo)準(zhǔn)或限值的識(shí)別與其合理性，包括設(shè)定單個(gè)報(bào)警值,或設(shè)定預(yù)警值、干預(yù)值兩個(gè)報(bào)警值，但至少要設(shè)定干預(yù)值。設(shè)定預(yù)警值可給出性能偏離的早期預(yù)警。預(yù)警值、干預(yù)值的設(shè)置見附 錄B。

4.3.7 數(shù)據(jù)超出規(guī)定限值的應(yīng)對措施的技術(shù)要求。

4.3.8 按GB/T 25915.1—2021中5.1的規(guī)定定期劃分潔凈室或潔凈區(qū)空氣潔凈度（按粒子濃度）的需要與頻度。

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