1 范圍
本文件規(guī)定了按空氣中懸浮粒子濃度劃分潔凈室、潔凈區(qū)、GB/T 25915.7所述的隔離裝置中的空氣潔凈度等級(jí)。
本文件適用于粒徑擋下限為0.1 μm?5 μm的顆粒物累積計(jì)數(shù)分布及其粒子濃度的監(jiān)測(cè)。
超細(xì)粒子（＜0.1μm）的濃度將在納米尺寸粒子空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。在指定采樣點(diǎn)，規(guī)定使用光散射（離散式）空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)器（LSAPC）判定大粒子（〉5μm）的粒子濃度，用M描述符對(duì)其量化。
本文件不適用于表征空氣懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性、生物活性或其他特性。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于 本文件。
GB/T 25915.2-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè) （ISO 14644-2：2015,IDT）
GB/T 25915.7 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第7部分：隔離裝置（凈化空氣臺(tái)、手套箱、隔離器和微 環(huán)境）（GB/T 25915.7—2020,ISO 14644-7：2004,IDT）
GB/T 29024.4-2017 粒度分析單顆粒的光學(xué)測(cè)量方法第4部分：潔凈間光散射塵埃粒子計(jì) 數(shù)器（ISO 21501-4：2007,IDT）
3 術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
3.1 基本
3.1.1
潔凈室 cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級(jí)的房間，其設(shè)計(jì)、建造到運(yùn)行均使進(jìn)入、產(chǎn)生、滯留于房間的粒子受控。
注1：規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃分的級(jí)別。
注2：也可對(duì)影響潔凈度等級(jí)的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級(jí)的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。
注3：溫度、濕度、壓力、振動(dòng)和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。
3.1.2
潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)濃度受控并分級(jí)的限定空間。其建造和運(yùn)行使進(jìn)入、產(chǎn)生和滯留于空間的粒子受控。
注1：空氣懸浮粒子濃度的級(jí)別已確定。
注2：也可對(duì)影響潔凈度等級(jí)的其他因素，如空氣中化學(xué)物、微生物或納米尺度粒子濃度等，以及影響表面潔凈度等級(jí)的其他因素，如粒子、納米粒子、化學(xué)物或微生物濃度等，作出規(guī)定并進(jìn)行控制。
注3：潔凈區(qū)可以是限定于潔凈室內(nèi)的空間，也可用隔離裝置實(shí)現(xiàn)。隔離裝置既可設(shè)在潔凈室內(nèi)也可在潔凈室外。
注4：溫度、濕度、壓力、振動(dòng)和靜電等相關(guān)的物理參數(shù)，也可按要求受控。
3.1.3
設(shè)施 installation
連同所有相關(guān)構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、供給和公用設(shè)施的潔凈室或一個(gè)、多個(gè)潔凈區(qū)。
3.1.4
分級(jí) classification
按技術(shù)要求評(píng)定潔凈室或潔凈區(qū)潔凈度水平的方法。
注：潔凈度水平應(yīng)以IS。等級(jí)濃度來(lái)描述，它代表單位容積空氣內(nèi)最大允許粒子濃度。
3.2 空氣懸浮粒子
3.2.1
粒子 particle
具有規(guī)定物理邊界的微小物質(zhì)。
3.2.2
粒徑 particle size
給定粒徑測(cè)定儀測(cè)得的、與被測(cè)粒子響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蝮w直徑。
注：光散射離散粒子計(jì)數(shù)儀給出的是光學(xué)等效直徑。
3.2.3
粒子濃度 particle concentration
單位體積空氣中粒子的個(gè)數(shù)。
3.2.4
粒徑分布 particle size distribution
以累積分布表示的粒子濃度與粒徑的函數(shù)關(guān)系。
3.2.5
大粒子 macroparticle
當(dāng)量直徑大于5 μm的粒子。
3.2.6
M 描述符 M descriptor
實(shí)測(cè)或規(guī)定的每立方米空氣中大粒子濃度，其中的當(dāng)量粒徑與測(cè)量方法有關(guān)。
注：M描述符可視作采樣點(diǎn)平均值的上限。不能用M描述符表示ISO潔凈度等級(jí)，但M描述符可以單獨(dú)引用或 與ISO潔凈度等級(jí)一起引用。
3.2.7
單向流 unidirectional airflow
通過(guò)潔凈室或潔凈區(qū)整個(gè)斷面，風(fēng)速穩(wěn)定且平行的受控氣流。
3.2.8
非單向流 non-unidirectional airflow
潔凈室或潔凈區(qū)的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室內(nèi)空氣混合的氣流分布。
3.3 占用狀態(tài)
3.3.1
空態(tài) as-built
潔凈室或潔凈區(qū)所有服務(wù)設(shè)施就位并運(yùn)行，但無(wú)設(shè)備、家具、材料和人員的狀態(tài)。
3.3.2
靜態(tài) at-rest
潔凈室或潔凈區(qū)建成且設(shè)備就位，按議定的方式運(yùn)行，但無(wú)人員在場(chǎng)的狀態(tài)。
3.3.3
動(dòng)態(tài) operational
潔凈室或潔凈區(qū)設(shè)施按議定方式運(yùn)行，且有規(guī)定數(shù)量的人員按議定方式工作的狀態(tài)。
3.4 檢測(cè)儀器
3.4.1
分辨率 resolution
可被測(cè)量的最小變量，即在相應(yīng)顯示中產(chǎn)生的、可辨認(rèn)的變化。
注：噪聲（內(nèi)、外部）或摩擦等因素可決定分辨率，被測(cè)的量值也可決定分辨率。
[來(lái)源：ISO/IEC Guide 99：2007,4,14]
3.4.2
最大允許測(cè)量誤差 maximum permissible measurement error
對(duì)一項(xiàng)具體測(cè)量、或?qū)y(cè)量?jī)x或測(cè)量系統(tǒng),相對(duì)于已知參照量值，技術(shù)條件或規(guī)范所允許的測(cè)量誤 差極值。
注1：在有兩個(gè)極限值時(shí)，通常用術(shù)語(yǔ)“最大允許誤差”或“誤差限值”予以區(qū)分。
注2： “公差”不可用于表示“最大允許誤差”.
[來(lái)源：ISO/IEC Guide 99 ：2007,4.26]
3.5 儀器規(guī)格
3.5.1
光散射（離散式）空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)器 light scattering （discrete） airborne particle counter； LSAPC
依據(jù)粒子的光學(xué)等效直徑，對(duì)空氣中單個(gè)粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)和測(cè)徑的儀器。
注：GB/T 29024.4—2017 給出了 LSAPC 的規(guī)格。
3.5.2
離散大粒子計(jì)數(shù)器 discrete-macroparticle counter
能夠?qū)諝庵袉蝹€(gè)大粒子計(jì)數(shù)和測(cè)徑的儀器。
注：其技術(shù)規(guī)格見(jiàn)附錄F中表F.1。
3.5.3
飛行時(shí)間測(cè)徑儀 time-of-flight particle sizing apparatus
以粒子適應(yīng)風(fēng)速變化的時(shí)間來(lái)測(cè)定其空氣動(dòng)力學(xué)直徑的離散粒子計(jì)數(shù)、測(cè)徑裝置。
注1：通常借助光學(xué)方法測(cè)量流體速度變化后粒子的移動(dòng)時(shí)間。
注2：其技術(shù)規(guī)格見(jiàn)表F.2。
以上為標(biāo)準(zhǔn)部分內(nèi)容，如需看標(biāo)準(zhǔn)全文，請(qǐng)到相關(guān)授權(quán)網(wǎng)站購(gòu)買標(biāo)準(zhǔn)正版。
