潔凈廠房高純氣體輸配金屬管道安裝連接要求如下：

      （1）用于輸送高純氣體的金屬管道的材質(zhì)主要有：

      1）低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈度氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

      2）銅管。在半導(dǎo)體企業(yè)中，個別生產(chǎn)工藝如砷化鎵的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅質(zhì)管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。 

      3）熱鍍鋅無縫鋼管。有資料介紹，潔凈室的管道不得采用鍍鋅鋼管。

      （2）連接方式

      1）焊接

      高純、高潔凈度氣體管道，原則上采用焊接，但防止直接對焊，應(yīng)采用套管接頭，如圖1。

圖1 管套的正確安裝

      不銹鋼管的焊接：采用氬弧焊，同時管內(nèi)通入同等純度的氬氣，防止焊接部位氧化。

      銅管的焊接：采用40%的銀焊條，采用氮氣保護焊，管內(nèi)通入與工藝氣體同等純度的氮氣。但要注意，一旦氮氣中斷或氮氣純度下降，會在焊口附近生成銅的氧化物，產(chǎn)生浸潤表面的可能性。所以，當銅管焊接完畢后，要用浸漬丙酮的紗布來回擦拭管內(nèi)，消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。

      鍍鋅鋼管的焊接：鍍鋅鋼管的焊接會破壞鍍鋅層，鍍鋅后如實施補鍍鋅，實際操作艱難，同時極易加速該處的腐蝕，因此潔凈室內(nèi)管道不得使用鍍鋅鋼管。

      2）螺紋連接

      螺紋連接的氣密性不如焊接的好，不適用于高純、高潔凈度氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘渣有帶入氣體的危險，而且，內(nèi)外螺紋旋緊時，金屬間的摩擦，會產(chǎn)生金屬粉塵粒子，污染氣體。如確實必要，應(yīng)在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時，在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊錫，提高密封效果、盡可能減少金屬粉塵。

      3）法蘭連接

      螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氟乙烯，為確保密封效果，在墊片上涂敷少量氟橡膠（白色、室溫固化）。

      (3) 管路附件的使用

      1） 管路附件的材質(zhì)的選用應(yīng)與管材的選用原則一致。

      2）在采用銅材的管路系統(tǒng)中，可以使用不銹鋼材質(zhì)的管道的附件；反之，不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中，不容許使用銅質(zhì)材料的管道附件。