圖1表示了潔凈室的構(gòu)成。從構(gòu)成潔凈室整體的硬件來(lái)說(shuō),有以下幾部分:
1.潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)
由土建材料現(xiàn)場(chǎng)構(gòu)筑或工廠預(yù)制的構(gòu)件構(gòu)筑,它們包括潔凈廠房的土建結(jié)構(gòu)和在土建結(jié)構(gòu)內(nèi)分隔出潔凈室的建筑裝修部分。除了合理的平、剖面規(guī)劃布置外,為滿足潔凈要求的建筑和裝修構(gòu)造接點(diǎn)的設(shè)計(jì)和制作,也是重要的構(gòu)成部分。
2.空氣凈化系統(tǒng)
除了要滿足工藝要求的室內(nèi)溫濕度外,凈化空調(diào)系統(tǒng)的顯著特點(diǎn)是根據(jù)需要采用多級(jí)空氣過(guò)濾器、保證足夠的風(fēng)量和有序的壓力控制等。末級(jí)過(guò)濾器的性能對(duì)潔凈室具有關(guān)鍵作用,末端高效過(guò)濾器安裝的密封性也不可忽視。
3.附屬設(shè)備
為保證潔凈室的使用,應(yīng)有合理的人物流路線和合格的人物凈化設(shè)施,如空氣吹淋、傳遞窗等。此外,還有為工藝需要所敷設(shè)的其他工藝管線、用于監(jiān)測(cè)潔凈室潔凈度級(jí)別和壓力的相關(guān)儀器等。