一、潔凈室分子態(tài)污染物（AMC）

      分子態(tài)污染物主要包括以下四種：

      （1）酸性氣體（表示為A）：N_O4、SO_x、HF、HCl、H₂SO₄等。

      （2）堿性氣體（表示為B）：NH₃

      （3）凝聚性有機(jī)物（表為C）：在常溫常壓下容易凝結(jié)在物體表面的有機(jī)物，包括碳氮化合物、硅氧化物、氟高分子有機(jī)物等。

      （4）金屬摻雜物（表示為D）：Fe、Na、K、Ca、Zn、Al、Br等。

二、潔凈室分子態(tài)污染物檢測(cè)方法

      分子態(tài)污染物可采用以下采樣方法和分析方法：

      （1）采樣方法包括被動(dòng)式采樣方法和主動(dòng)式采樣方法。前者采樣周期較長(zhǎng)，后者要有較復(fù)雜的儀器。

      主動(dòng)式采樣方法包括：撞擊法、吸附管法、擴(kuò)散采樣分析法、過(guò)濾器收集法、采樣袋（罐）法、晶圓片或平板法、液滴掃描提取法等。

      （2）空氣分子態(tài)污染物濃度的分析法包括在線分析法和離線分析法。

      在線分析法可用磁帶記錄法、紫外線照射法、轉(zhuǎn)筒式化學(xué)浸漬濾紙分析儀（CPR）上比色檢測(cè)法、離子遷移率色譜（IMS）法、便攜式氣相色譜儀（PGC）法、離子色譜監(jiān)控（ICS）法、化學(xué)發(fā)光監(jiān)控（CLS）法、表面聲波（SAW）等專(zhuān)用儀器直接測(cè)定分子濃度。但應(yīng)注意儀器的測(cè)定下限和測(cè)量范離線分析法，應(yīng)在主動(dòng)采樣完畢經(jīng)實(shí)驗(yàn)室分析后得出各種成分濃度。

三、撞擊采樣法

1. 撞擊采樣法適用于檢測(cè)空氣中的陰陽(yáng)離子（Li⁺、Na^＋、K⁺、Ca²⁺、Mg²⁺、Fe²⁺、Br^-、Cl^-、NH₄⁺、SO₄^2-、PO₄^3-、 NO₃^-等）的濃度。檢測(cè)限值可按表H.3.1執(zhí)行。

表H.3.1 撞擊法檢測(cè)極限值

       注：體積濃度ppb的量級(jí)為10^-9，重量濃度ng的量級(jí)為10^-12。

2. 撞擊采樣法可采用如下設(shè)備和材料：

（1）測(cè)定設(shè)備如圖H.3.2所示。

圖H.3.2 撞擊采樣法示意

1一氣泵；2一去濕管；3一超純水；4一采樣瓶；5-進(jìn)氣口

      （2）離子色譜分析儀。

      （3）超純水。

3. 撞擊采樣法可按以下步驟進(jìn)行：

      （1）測(cè)定前的所有準(zhǔn)備工作必須在5級(jí)潔凈環(huán)境中進(jìn)行，所使用的超純水必須保存在5級(jí)潔凈度環(huán)境中不被污染，必須保存足夠的量以供分析對(duì)比使用。

      （2） 采樣瓶?jī)?nèi)注入30mL超純水，用管子按圖H.3.2所示將各部分連接起來(lái)。去濕管是為了保證沒(méi)有水滴被吸入采樣泵。

      （3） 開(kāi)動(dòng)氣泵吸入空氣，使空氣不斷和瓶中的超純水碰撞，空氣中的成分溶解于純水。

      （4） 氣泵事先必須經(jīng)過(guò)校驗(yàn)，采樣的流量為90L/h，采樣時(shí)間（8～12）h，以達(dá)到最低檢測(cè)限度為準(zhǔn)。采樣后水樣必須在（6～12）℃范圍內(nèi)保存和運(yùn)輸，在7d內(nèi)送到實(shí)驗(yàn)室分析。

      （5） 用離子色譜分析儀檢測(cè)水樣中各種成分的含量。若檢測(cè)成分多，必須采取足夠的水樣。

四、吸附管采樣法

1. 吸附管采樣法適用于檢測(cè)空氣中的易揮發(fā)和不穩(wěn)定物質(zhì)的濃度。

2. 吸附管采樣法可采用以下設(shè)備和材料：

      （1）測(cè)定設(shè)備如圖H.4.1所示。

圖H.4.1 吸附管采樣法示意

1一吸附管；2一氣泵；3-調(diào)節(jié)閥；4-流量計(jì)

      （2） 氣相色譜質(zhì)譜儀。

      （3） 吸附物質(zhì)（TenaxTA60/80等，一種多孔狀的二苯氧化基聚酯）。

3. 吸附管采樣法可按以下步驟進(jìn)行：

      （1） 測(cè)定前的所有準(zhǔn)備工作必須在5級(jí)潔凈環(huán)境中進(jìn)行。

      （2） 氣泵流量為3L/h，必須經(jīng)過(guò)校驗(yàn)。采樣時(shí)間（3～9）h，達(dá)到最低檢測(cè)度為準(zhǔn)。

      （3） 采樣前后的采樣管均必須在（2～8）℃范圍內(nèi)保存和運(yùn)輸，在7d內(nèi)送到實(shí)驗(yàn)室分析。