潔凈室氣體系統(tǒng)管材及附件設(shè)計要求如下：

一、潔凈室氣體系統(tǒng)設(shè)計一般規(guī)定

1. 潔凈室氣體系統(tǒng)施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫(yī)用氣體、可燃?xì)怏w、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗收。

二、潔凈室氣體系統(tǒng)管材及附件

1. 氣體系統(tǒng)管道材質(zhì)及附件，應(yīng)按設(shè)計要求選配，如設(shè)計未作明確要求，選用時應(yīng)與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質(zhì)相適應(yīng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1） 應(yīng)使用無縫管材。

      （2） 管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用小。

      （3） 管材內(nèi)表面應(yīng)光滑、耐磨損。

      （4） 應(yīng)具有良好的抗腐蝕性能。

      （5） 管材金屬組織在焊接處理時不應(yīng)發(fā)生變化。

      （6） 負(fù)壓管道不宜采用普通碳鋼管。

2. 所用管材應(yīng)放在室內(nèi)保管，不得重疊碼放。管道應(yīng)無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應(yīng)平直、圓滑。

3. 成品管外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施應(yīng)有效、無破損。

4. 氧氣閥門必須采用專用產(chǎn)品，其密封圈應(yīng)采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質(zhì)。填料應(yīng)采用經(jīng)脫脂處理的聚四氟乙烯。

5. 采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質(zhì)的附件，但在不銹鋼材質(zhì)的管路中，不應(yīng)采用銅質(zhì)的附件。