一、自動(dòng)控制要求

      1 潔凈廠房宜設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動(dòng)監(jiān)控裝置。

      2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)宜選用變頻調(diào)速控制的風(fēng)機(jī)。

      3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)裝置。當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)裝置。

二、靜電防護(hù)及接地

      1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護(hù)措施。

      2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列規(guī)定：

      （1）地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長時(shí)間性能穩(wěn)定。

      （2）地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×10⁵Ω/□?1.0×10¹²Ω/□或體積電阻率為1.0×10⁴Ω?cm~1.0×10¹¹Ω?cm。

      （3）地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻值應(yīng)為1.0×10⁵Ω?1.0×10⁹Ω。

      3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施。

      4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

      5 防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。 在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。

在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0. 10。

      6 潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。

      7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》 GB 50057的有關(guān)規(guī)定。