一、電子工業(yè)潔凈廠房微振控制一般規(guī)定
1. 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。
2. 設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1） 總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；
（2）設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；
（3）對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；
（4） 潔凈室（區(qū)）內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周?chē)駝?dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。
二、電子工業(yè)潔凈廠房容許振動(dòng)值
1. 微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施，并應(yīng)滿(mǎn)足容許振動(dòng)值的要求。
2. 精密設(shè)備、儀器的容許振動(dòng)值物理量的表述，應(yīng)采用時(shí)間域或頻率域的振動(dòng)加速度、振動(dòng)速度和振動(dòng)位移等。
3. 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值，應(yīng)由制造商提供。無(wú)法確定時(shí)，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。
三、電子工業(yè)潔凈廠房振動(dòng)控制設(shè)計(jì)要求
1. 潔凈廠房的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)試分析：
（1） 場(chǎng)地環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
（2） 潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性測(cè)試及分析；
（3） 精密設(shè)備、儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
（4） 微振動(dòng)控制的最終測(cè)試及分析。
2. 有微振動(dòng)控制要求的潔凈室（區(qū)），其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1） 建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；
（2） 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；
（3） 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。
3. 有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道，宜采取主動(dòng)隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.
（1） 宜采用隔振臺(tái)（座）；
（2） 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?/p>
（3） 通往潔凈室（區(qū)）的管道，宜采取隔振支（吊）架、柔性連接等隔振措施。
4. 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備、儀器的被動(dòng)隔振措施的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
（1） 隔振臺(tái)（座）應(yīng)具有足夠的剛度；
（2） 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施；
（3） 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15；
（4） 隔振臺(tái)（座）應(yīng)采取傾斜校正措施；
（5）隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型，
（6） 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時(shí)，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理，并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的要求。
