電子工業(yè)潔凈廠房空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)一般規(guī)定如下:
1. 潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí),應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。
2. 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。
3. 有下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:
(1)運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同;
(2)生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響;
(3)對(duì)溫、濕度控制要求差別大;
(4)潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊;
(5)凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),
(6)系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4. 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度應(yīng)符合《GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》第3.2.3條的規(guī)定。
5. 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
6. 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差,靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定:
(1)各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定;
(2)不同等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa;
(3)潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa;
(4)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。
7. 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量,宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。
8. 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
9. 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。
10. 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1~5級(jí)的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng),潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。