1 范圍
GB/T 25915本部分依據(jù)潔凈室及相關受控環(huán)境空氣中具體化學物質（種、組、類）的 濃度，對空氣化學污染（ACC）進行分級。同時，本部分在分級技術要求中，給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權系數(shù)在內的規(guī)程。
本部分目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中100 g/m3~10-12 g/m3的化學污染物濃度。
本部分不涉及那些空氣中雖有化學物質存在、但不認為對產(chǎn)品或工藝有危害風險的行業(yè)、 工藝和生產(chǎn)。
本部分無意探討空氣化學污染物的特性。
本部分不包含對表面化學污染的分級。
2 規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
3 術語和定義
GB/T 25915.6-2010/IS014644-6:2007, IDT《潔凈室及相關受控環(huán)境——第6部分：詞 匯》中界定的以及下列術語和定義適用于本文件。
3.1 一般術語
3.1.1
化學污染 chemical contamination
危害產(chǎn)品、工藝、設備的非顆粒物質。
3.1.2
按化學物濃度劃分空氣潔凈度 ACC air cleanliness by chemical concentration
以ISO-ACC表示的、按化學物濃度劃分空氣潔凈度的結果，代表了給定的某種或某組 化學物種類、以克每立方米為單位的最大允許濃度。
注1：生物大分子歸為粒子，不包含在本定義中。
3.1.3
空氣化學污染 air chemical contamination
存在于空氣中、其化學特性可對產(chǎn)品、工藝、設備有不良影響的任何物質。
3.1.4
按化學物濃度劃分表面潔凈度 SCC- surface cleanliness by chemical concentration 以化學物濃度所表示的表面潔凈度狀況。
3.1.5
表面化學物濃度 surface chemical concentration
存在于表面上、因所具有的化學特性可對產(chǎn)品、工藝、設備有不良影響的任何物質。
3.1.6
污染物類別 contaminant category
沉積在關注表面時有特定和類似危害結果的一組化合物的統(tǒng)稱。
3.1.7
釋放氣體 out-assinq
從材料中釋放出氣態(tài)或蒸汽態(tài)分子物質。
3.1.8
按化學物濃度等級劃分空氣潔凈度（ACC） air cleanliness by chemical concentration（ACC） class
表示某給定的化學物種類或某組化學物種類的最大允許濃度的、以克每立方米為單位的分級數(shù)字。
注1：最大允許濃度規(guī)定見表1,或按4.2節(jié)中的等式標定N。
注2：按GB/T 25915/ISO 14644本部分的分級僅限于0（潔凈度最差）至-12（潔凈度最佳）級。
注3： ACC等級數(shù)字只有與規(guī)定了相應的化學物種類或成組化學物類別的ACC描述符一起使用時才有效。
注4：空氣化學物潔凈度級別負號（-1至-12）是ACC等級數(shù)字N的組成部分，并必須注明?？諝饣瘜W物潔凈度必須有負號（0級除外）。
注5： ISO分級可以是小數(shù)點后保留1位數(shù)字的非整數(shù)數(shù)字。
3.2 污染物類別
3.2.1
酸 acid
化學反應特性為接受電子對并建立新化學鍵的物質。
3.2.2
堿 base
化學反應特性為給出電子對并建立新化學鍵的物質。
3.2.3
生物毒素 biotoxic
危害生物、微生物、生物組織或細胞個體生長與存活的物質。
3.2.4
可凝聚物 condensable
可在潔凈室運行狀態(tài)下因凝結而沉積在表面上的物質。
3.2.5
腐蝕劑 corrosive
使表面產(chǎn)生破壞性化學變化的物質。
3.2.6
摻雜物 dopant
經(jīng)產(chǎn)品本體吸 收或（和）經(jīng)擴散后與本體合為一體，即使為微量亦可改變材料特性的物質。
3.2.7
有機物 organic
以碳為基本元素，含氫，含或不含氧、氮等其他元素的物質。
3.2.8
氧化劑 oxidant
沉積在關注表面或產(chǎn)品上后，形成氧化物（O2/O3）或參與氧化還原反應的物質。
4 分級
4.1 概述
應按4.2給出的分級描述符表示分級。描述符的形式為“ISO-ACC”，它明確了空氣中某類污染物、某種污染物、或某組污染物的最大允許濃度。
4.2 ISO-ACC描述符格式
ACC等級數(shù)字只有與該等級所適用的、由ISO-ACC描述符所說明的某類污染物、某種污染物、或某組物質一起使用時方為有效。
ISO-ACC描述符的格式為：
ISO-ACCN（X）級
其中：
x——是某化學物質或一組化學物質，至少包括：
酸（ac）；
堿（ba）；
生物毒素（bt）；
可凝結物（cd）；
腐蝕物（cr）；
摻雜物（dp）；
有機物總量（or）；
氧化劑（ox）；
或一組物質，或某種物質。
N—ISO-ACC等級，它是濃度Cx的常用對數(shù)值,其范圍為0 ~ T2, Cx的單位為g/m3。
N可以是小數(shù)點后保留一位數(shù)的非整數(shù)等級；
N= log10[Cx];
例1：樣本為n-甲基毗咯烷酮（NMP）,空氣污染物所測值為8E-7g/m3, n=-6,097,處 于-6級的E-6/m3的等級限值之內。
表述為：ISO-ACC-6 級[NMP]
例2：樣本為有機化合物,總有機化合物（TOC）的實測值為6E-5g/m3,處于-4級lE-4g/m3
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