1 范圍

      本文件定義了潔凈室中有關(guān)化合物或化學(xué)物質(zhì)（包括分子、離子、原子、顆粒物）存在情況的表面潔凈度分級(jí)系統(tǒng)。

      本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中所有表面，如墻面、頂棚、地面、工作環(huán)境、工具、設(shè)備和裝置。

      注1:本文件僅考慮微粒子的化學(xué)性質(zhì)，未考慮微粒子的物理性質(zhì)。本文件不包括污染物與表面之間的相互作用。

      注2：本文件不涉及污染產(chǎn)生的過程，不涉及與時(shí)間有關(guān)的影響因素（沉降、沉積、老化等）以及與過程有關(guān)的活動(dòng)（如轉(zhuǎn)移、處理等），也不涉及為確保符合性的統(tǒng)計(jì)質(zhì)量控制技術(shù)指南。

2 規(guī)范性引用文件

      下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

      GB/T 25915.6 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第6部分:詞匯（GB/T 25915—2010,ISO14644-6：2007, IDT）

      注：ISO 14644-6:2007已廢止，我國仍保留與之對(duì)應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)。

3 術(shù)語和定義

      GB/T 25915.6界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

      按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度 air cleanliness by chemical concentration；ACC

      給定的某種或某組化學(xué)物質(zhì)最大允許濃度，用ISO-ACCN級(jí)表示，單位為克每立方米（g/m³）。

      注：本定義不包括生物大分子，生物大分子視為微粒子。

3.2

      污染物類別 contaminant category

      沉積在關(guān)注表面時(shí)有特定和類似危害的一組化合物的統(tǒng)稱。

3.3

      化學(xué)污染 chemical contamination

      對(duì)產(chǎn)品、工藝或設(shè)備有害的化學(xué)物質(zhì)（非微粒子）。

3.4

      固體表面 solid surface

      固相與另一相之間的界面。

3.5

      表面 surface

      兩相之間的界面。

      注：通常其中一相為固相，另一相為氣相、液相或其他固相。

3.6

      按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度 surface cleanliness by chemical concentration；SCC 以化學(xué)物濃度所表示的表面潔凈度狀況。

3.7

      按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí) surface cleanliness by chemical concentration class

      N see

      以克每平方米（g/m²）為單位的表面化學(xué)物濃度的常用對(duì)數(shù)（以10為底）。

4 分級(jí)

4.1 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境表面潔凈度分級(jí)原理

      應(yīng)使用分級(jí)標(biāo)識(shí)說明等級(jí)。該標(biāo)識(shí)為“ISO-SCC”,它描述了一個(gè)表面上允許的某種化學(xué)物質(zhì)或某組化學(xué)物質(zhì)的最大總化學(xué)物質(zhì)濃度,SCC分級(jí)依據(jù)公式（1）計(jì)算的、以克每平方米（g/m²）表示的表面化學(xué)物的濃度。為了計(jì)算等級(jí)，所有其他單位都應(yīng)轉(zhuǎn)換為克每平方米（g/m²）。在需要對(duì)特定低濃度情況 予以說明時(shí),表面化學(xué)物最大允許濃度可用公式（2）表示為每平方厘米原子數(shù)量ISO-SCCatomic。

4.2 按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

      SCC等級(jí)應(yīng)使用分級(jí)數(shù)Nsec表示。Nsec是以克每平方米（g/m²)為單位的Cscc濃度的常用對(duì)數(shù)指標(biāo)。SCC等級(jí)應(yīng)總是與其所關(guān)聯(lián)的某種化學(xué)物質(zhì)或某組化學(xué)物質(zhì)同時(shí)標(biāo)出。可以規(guī)定非整數(shù)濃度 Nscc級(jí)別，但只能保留一位小數(shù)。可根據(jù)公式（1）用Nsec確定Cscc。

C_scc=10^Nscc  （ 1 ）

故，N_scc = log10C_scc。

      Cscc為以克每平方米（g/m²）為單位的某種或某組化學(xué)物質(zhì)的最大允許濃度。測得的表面化學(xué)物濃度應(yīng)不超過SCC的最大允許濃度。Cscc滿足需方和供方預(yù)先商定的SCC。

      在各種情況下，Nscc級(jí)別數(shù)字應(yīng)包括負(fù)號(hào)。

      注1： SCC級(jí)別數(shù)字只有與標(biāo)示符（見4.3）一起使用時(shí)才有效。

      注2：將質(zhì)量濃度（g/m²）換算為數(shù)量濃度（單位面積的原子數(shù)、分子數(shù)、離子數(shù)），見4.4。

      表1和圖1給出了表面化學(xué)物濃度與ISO-SCC級(jí)別之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

      附錄B列出的、對(duì)分級(jí)有影響的一些因素也應(yīng)予以注意。

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